製品の概要
半導体製造ツールでの要求の厳しい用途向けに設計された精密設計純粋な鉄リベット.私たちのリベットは、信頼できる機械的留め具を提供しながら、超クリーン環境と腐食性のプロセスガス.の互換性を維持しながら、99 .}} 9%純粋な鉄のための純粋な鉄の純粋な項目の純粋な項目を備えています。半導体製造システムにおける表面の完全性。
なぜ半導体ツール用の純粋な鉄リベット?
半導体製造には、汚染と材料特性を極端に制御する必要があります{.標準鋼ファスナーは、不要な金属不純物または可変磁気特性を導入できます.私たちの純粋な鉄のリベットは特殊なソリューションを提供します。
超低メタリック汚染:臨界汚染物質の最小レベル(E . g {.、cu、ni、cr、zn、mn)は、潜在的に移行して妥協する可能性のある敏感なプロセスまたはウェーフの生成.を侵害する可能性があります。
予測可能な材料の挙動:高純度の鉄は、一貫した物理的特性(延性、柔らかさ)と制御された磁気透過性を提供します。
粒子生成のリスクの低下:慎重な製造および取り扱いプロセスは、粒子源になる可能性のある表面欠陥を最小限に抑えることを目指しています{.
互換性:半導体ツールで見つかった高航空または制御された大気環境での使用に適しています.
主な機能と利点:
1.高純度の鉄のコア:
標準鋼と比較して大幅に縮小された微量元素で配合された.
Typical High Purity Levels (e.g., >99 . 8%Fe、または該当する場合は4nのようなグレードを指定します)。
金属汚染に関連するリスクを軽減するのに役立ちます.
2.掃除機オプション(強くお勧めします):
利用可能なパッケージは、保管およびトランジット中の大気酸化からリベットを保護するのに役立ちます.
表面の完全性を維持し、潜在的な酸化物粒子の生成を減らすことを目指しています.
貯蔵寿命の延長と使用条件をサポートします.
3.材料の一貫性と信頼性:
精密アセンブリで信頼できるパフォーマンスのために設計.
純粋な鉄の特徴的な高い延性を提供する.
敏感なツール環境に適した制御された磁気特性.
4.サプライヤーは半導体のニーズに焦点を当てています。
汚染制御要件の理解(AMC、粒子).
材料認定とトレーサビリティを提供する能力.
半導体ツールのターゲットアプリケーション:
真空チャンバーコンポーネントと備品のアセンブリ
内部ツール構造とブラケット
センサーマウントとシールド要素
プロセスモジュール内の非クリティカルな(非プラズマ対面)ハードウェア
特定の材料特性を必要とする精密メカニズム
磁気干渉を最小限に抑えることが有益なアプリケーション
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